适用于半导体行业液态化学品测量

该折光仪外形紧凑，流通池采用改良超纯 PTFE 制成，适用于半导体液态化学品测量。可通过? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。
维萨拉 K-PATENTS? 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于晶圆洁净室里的化学品浓度监测，通常被安装在混合、清洗、蚀刻和 (CMP) 等机台上。
PR-33-S 包含改良超纯 PTFE 流通池和以太网线，任何标准的以太网供电 (PoE) 开关均可通过以太网线向传感器供电，并将数据传输给计算机。PR-33-S 实时监控化学品浓度，并立即通过以太网信号输出，当化学品浓度超出规定范围时，可通过配置过低浓度和过高浓度警报来控制和延长使用周期。该仪器通过光学原理测量溶液的折射率 nD 和温度，从而获得溶液浓度。
PR-33-S 直接通过柱形或喇叭形配件串接来进行安装，而且结构紧凑，不含金属，占地面积小。
关键要素：N.I.S.T. 标准下的可追溯校准及验证，采用标准折射率液体和验证程序进行验证。
独特光学核心设计。
通过以太网进行数据记录和远程界面操作。
标准 UDP/IP 通信。
过程温度范围：-20°C ? 85°C (-4°F ? 185°F)。
内置 Pt1000 快速温度测量及自动温度补偿

全数字化设备
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